國產光刻機“第一股”:華卓精科科創板IPO獲受理

　　伴隨著A股光刻機概念股行情起飛，近日科創板新增受理的一家光刻機雙工件臺企業引發了市場高度關注，并被譽為國產光刻機“第一股”，一時風頭無兩。它就是：北京華卓精科科技股份有限公司（下稱“華卓精科”）。率先在國內打破國際巨頭ASML對光刻機雙工件臺的壟斷，這是華卓精科的A面，而隨著招股書曝光具有成長空間的B面也得以顯現，這一面關乎技術精進和市場開拓。

“光刻機工件臺”=“光刻機”？

　　近日，光刻機雙工件臺生廠商華卓精科的申請IPO獲上交所正式受理，此前公司曾在新三板掛牌。

　　據招股書披露，華卓精科是國內首家可自主研發并實現商業化生產的光刻機雙工件臺供應商，公司主營業務以光刻機雙工件臺為核心的超精密測控裝備整機及部件，應用領域覆蓋集成電路制造、超精密制造、光學、醫療、3C 制造等行業。

國產光刻機“第一股”的呼聲隨之而來。

　　《科創板日報》記者從業內獲悉，光刻機主要由工件臺、投影物鏡和光源三大核心子系統件組成。光刻機工件臺系其中承載硅片完成光刻過程中一系列超精密動作的運動系統（包括上下片、對準、晶圓面型測量和曝光等），將影響光刻機的精度和產效，綜合技術難度較高。

　　據介紹，目前國內光刻機工件臺領域發展進步較快，個體能否勝出主要取決于機械加工精度和單步精度。但盡管工件臺作為光刻機的核心部件，其含金量與“光刻機”整機本身也不能并論；并且通常不會被單獨采購，晶圓制造商一般是采購包括工件臺在內的成套光刻機整機設備。

　　“光刻機工件臺只是一個光刻機中的一個位移平臺（器件），通常成套光刻機設備里面就含有，跟ASML他們做的光刻機本身差距還較遠?！痹佑|該領域的半導體行業人士告訴《科創板日報》記者。

　　至于全球的光刻機整機市場，則長期被ASML（市占率70%以上）、尼康和佳能完全壟斷，三者合計市場占有率高達99%，國內方面的重要整機廠商則主要是上海微電子。

核心產品僅獲單一客戶

　　華卓精科的光刻機雙工件臺產品恰恰銷售給了國內光刻機主要廠商上海微電子，后者研制的90nm高端步進掃描投影光刻機已完成整機集成測試，并在客戶生產線上進行了工藝試驗。

　　據招股書披露，華卓精科的光刻機雙工件臺產品仍處于小批量定制生產階段，尚未實現規?；慨a。公司針對國產高端IC前道光刻機的需求推出了DWS和DWSi兩種系列的雙工件臺，前者主要適用于干式步進式掃描光刻機，目前已向上海微電子完成交付；后者適用于浸沒式光刻機，目前仍處于研發階段。

　　值得一提的是，截至目前向華卓精科采購光刻機雙工件臺的客戶僅有上海微電子一家。2017-2019年度公司光刻機雙工件臺銷售收入分別僅有1521.37萬元、795.00萬元和0萬元，主營業務占比僅為 28.12%、9.28%和 0%，且波動較大。

圖〡華卓精科的主營業務構成；來源：招股書

　　對此，業內人士分析稱，精度是半導體客戶考量的重要因素。華卓精科的雙工件臺技術雖然實現了從0到1的突破，但是與國外的先進技術還有一些差距。目前公司的雙臺系列產品主要應用于65nm及以下節點的ArF干式、浸沒式步進掃描光刻機，而國際先進水平的雙臺技術已經運用于7nm，甚至5nm光刻機的生產制造。

圖〡華卓精科雙工件臺的性能參數；來源：招股書

　　國內先進制程產線為了保證產品良率，以采購海外設備為主（主要從ASML等巨頭處）。而巨頭玩家自身，如ASML的光刻機工件臺為自行設計；尼康和佳能則統一交由整機廠商研發和生產，并不需要單獨外購。

　　就單一客戶，華卓精科在招股書中進行了風險提示，稱若公司研發的光刻機雙工件臺因技術或客戶需求等原因導致產業化不及預期，則可能對公司未來的經營業績造成不利影響。

公司銷售隊伍僅6人

　　相較于可比同業，目前華卓精科的業績規模尚小。

　　2017-2019年度公司僅分別實現營收5410.22萬元、8570.92萬元和1.21億元；同期歸母凈利潤分別為1253.21萬元、1512.36萬元和2087.24萬元。

圖〡華卓精科同行業可比上市公司的經營情況；來源：招股書

　　同時《科創板日報》記者還注意到，華卓精科在全公司體系中僅設置了6名銷售人員，占比只有2.21%。

圖〡華卓精科員工專業結構；來源：招股書

　　據《科創板日報》記者統計，華卓精科的這一銷售隊伍規模，遠遠未及國內半導體設備其他專業領域的上市公司。WIND數據顯示，目前精測電子(68.250, 0.57, 0.84%)銷售隊伍近500人，北方華創(170.910,4.67, 2.81%)近300，長川科技(30.790, 0.28, 0.92%)、蘇試試驗(22.610, 0.31, 1.39%)等也有逾100人，就連銷售隊人員規模最小的晶盛機電(24.740, 0.16, 0.65%)也有49人。

圖〡國內半導體裝備上市公司銷售人員情況；來源：WIND

　　就此業內人士指出，華卓精科所在的工件臺賽道所對應的國內市場空間較?。ǘ啾缓Ｍ饩揞^占據），盡管國內直接競爭對手不多。

　　華卓精科在招股書中也提到，雖然近年來中國半導體設備企業發展迅速，但全球半導體設備行業仍由歐美及日韓傳統廠商主導，公司與行業龍頭企業在品牌知名度和影響力等方面仍有一定差距，這將制約公司產品銷售和市場拓展的效果。

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